วารสารวิจัย มข.
ปีที่ 13 | ฉบับที่ 3 เมษายน - เมษายน 2551
ชื่อเรื่อง :
-
Title :
Study of Optimization Condition for Spin Coating of the Photoresist Film on 3 Inches Wafer by Taguchi Design of an Experiment
ผู้แต่ง :
-
Authors :
Nithi Atthi, Chuckaphun Aramphongphun, Patcharaporn Yanpirat, Peerayuth Charnsetthikul and Wutthinan Jeamsaksiri
บทคัดย่อ :
-
Abstract :
-
คำสำคัญ :
-
Keywords :
-